單通道熱式氣體質(zhì)量流量控制顯示儀
單通道熱式氣體質(zhì)量流量控制顯示儀:在一般情況下,質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計的單位都是以sccm(毫升/分鐘)和slm(升/分鐘)表示;s代表stand,指標準狀況下;cc指毫升;l指升,m代表minute,指分鐘。其實這就意味著,流量控制器在不同的使用條件下,指示的流量全都是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325pa (760mm hg); 溫度—0℃ (273.15k)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別,也是sccm、slm不同于ml/min、l/min 的地方。