至成鍍膜機(jī)生產(chǎn)廠家-實(shí)驗(yàn)室鍍膜機(jī)廠家-淮北鍍膜機(jī)
真空鍍膜系統(tǒng)的制作方法
在現(xiàn)有的真空鍍膜機(jī)中,安裝在鍍膜腔體中的加熱裝置多種多樣,現(xiàn)有的用于真空鍍膜的加熱裝置大多有加熱效率不高,無法減輕操作負(fù)擔(dān)、以及提高作業(yè)效率,受熱不均等問題。
提供一種真空鍍膜系統(tǒng),本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和真空手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。
真空鍍膜系統(tǒng)優(yōu)點(diǎn):蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合,實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作,使整個(gè)薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中,消除有機(jī)大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備。
真空鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)與工作原理介紹
一、真空鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu):
真空卷繞鍍膜機(jī)由真空罐、真空抽氣系統(tǒng)、蒸發(fā)系統(tǒng)、卷繞系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)及電氣系統(tǒng)組成。
真空罐是整臺(tái)真空鍍膜設(shè)備的主體部件,其結(jié)構(gòu)為圓柱形筒體,左端為圓形封頭封閉,右端的法蘭與卷繞車的大圓板對(duì)接實(shí)現(xiàn)密封。
外部聯(lián)接抽氣管道,內(nèi)部空間用于在真空狀態(tài)中鍍制產(chǎn)品,分為上下室,上室是基材卷繞室,下室是鋁絲蒸發(fā)鍍膜室。
二、真空鍍膜機(jī)的工作原理:
真空罐的正面中上部裝有可供觀察基材運(yùn)行情況和觀察鍍層質(zhì)量的長方形觀察窗,正面中下部裝有可供觀察送絲情況和蒸發(fā)舟加熱狀態(tài)的長方形觀察窗,同時(shí)還裝有可供觀察收料軸、放料軸運(yùn)轉(zhuǎn)狀況的圓形視窗各一個(gè)。
真空罐的背面中下部開有一方形的蒸發(fā)鍍膜室抽氣口,尾部圓封頭處開有一圓形的卷繞室抽氣口。真空罐的底部裝有水箱,用于罐體的冷卻,頂部裝有真空測量規(guī)管用于測量真空室內(nèi)的壓力。
真空鍍膜設(shè)備如何選配真空泵部件
一、在選真空泵時(shí),首先要注意真空泵在工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝和環(huán)境是不是存在著影響,如果工藝過程受到影響,應(yīng)該采取防振措施或者另選真空泵。在選擇的時(shí)候需要了解待抽氣體的成分,如果需要選擇性的抽氣,一種泵可能不足以滿足要求,必須組合多種不同的泵互相配合工作,如果真空鍍膜設(shè)備鍍膜要求無油則要選用無油泵。
二、真空泵的價(jià)格和維修費(fèi)用也是我們考慮的*之一。
三、真空鍍膜設(shè)備對(duì)于真空度的*限要求和工作壓力強(qiáng)度要求越來越大,對(duì)真空泵的抽真空能力要求就越高,起碼泵的*限抽真空度要高于真空設(shè)備工作真空度的半個(gè)數(shù)量級(jí)以上。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,譬如像擴(kuò)散泵的壓強(qiáng)為3~10-7mmhg,其穩(wěn)定工作壓強(qiáng)范圍為5*10-4~5*10-6mmhg,那么使用擴(kuò)散泵就不能讓其在未定工作壓強(qiáng)范圍之外工作。
四、當(dāng)泵需要的氣體壓力不高或所需的真空度不高的時(shí)候,可優(yōu)先在單級(jí)泵中進(jìn)行選擇,度過排氣壓力或真空度的要求比較高,單擊泵往往不可以滿足要求,可以選擇使用兩級(jí)泵或者多級(jí)泵。