Varian渦輪分子泵維修-Varian渦輪分子泵-潽拓光電

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發(fā)展真空技術(shù)，助力半導(dǎo)體行業(yè)我國(guó)是世界大的半導(dǎo)體消費(fèi)市場(chǎng)，但產(chǎn)業(yè)鏈整體價(jià)值水平較低，尤其是關(guān)鍵材料與設(shè)備和零部件方面，存在較大國(guó)外品牌依賴。例如，薄膜沉積、刻蝕、離子注入等半導(dǎo)體制造中關(guān)鍵工藝過(guò)程部件——磁懸浮分子泵，varian渦輪分子泵維修，長(zhǎng)期被國(guó)外壟斷?？梢钥闯?，渦輪分子泵也是一種機(jī)械式真空泵，分子泵的部件是旋轉(zhuǎn)葉片和固定葉片。面對(duì)“卡脖子”問(wèn)題，varian渦輪分子泵控制器，中科科儀積*響應(yīng)國(guó)家需求，varian渦輪分子泵電源，承擔(dān)科技部《*大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》專項(xiàng)中“磁懸浮分子泵系列產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，于2011年成功研制國(guó)內(nèi)第i一臺(tái)磁懸浮分子泵，打*國(guó)外產(chǎn)品壟斷。varian渦輪分子泵
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廣州潽拓光電——渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣的。
這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
分子泵的原理
分子泵是一種動(dòng)量型真空獲得設(shè)備，子分子流態(tài)下，varian渦輪分子泵，氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的表面發(fā)生碰撞獲得一定方向的動(dòng)量，從而使氣體分子得到逐級(jí)壓縮，后被抽除。
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