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直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。我們國家的空氣分子控制等的技術正在朝有利的方向發(fā)展,這項技術原先是由日本發(fā)展起來的,現(xiàn)在已經(jīng)受到了全世界的關注和認可,在我們國家,這項技術已經(jīng)受到了相關行業(yè)的重視并且投入研發(fā),相信在不久的未來,我們國家的相關科研人員一定會在這個領域取得讓人滿意的成績,為我們國家的凈化工程行業(yè)做出貢獻。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間
濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,蕪湖凈化車間,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,凈化車間裝修,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,凈化車間多少錢一平米,同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。凈化工程在設計時,無論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國家相關標準、規(guī)范進行。
設計凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級,增加*過濾器。排風系統(tǒng)有一般排風系統(tǒng)、有機氣體排風系統(tǒng)、酸性氣體排風系統(tǒng)、堿性氣體排風系統(tǒng)等,凈化車間設計時,要根據(jù)實際情況選擇。凈化工程在設計時,無論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國家相關標準、規(guī)范進行。
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