真空腔體廠家-沈陽鵬程(在線咨詢)-真空腔體

真空腔體烘烤注意事項(xiàng)
真空腔體烘烤時(shí)的真空度變化結(jié)果，真空腔體公司，烘烤采用纏繞加熱帶的方式。當(dāng)真空度達(dá)到約10-3 pa時(shí)，開始給加熱帶逐漸通電加熱，保持腔體在150℃下進(jìn)行長時(shí)間烘烤。烘烤過程中關(guān)閉離子泵，同時(shí)也給離子泵通電進(jìn)行加熱烘烤，這時(shí)的真空腔體只靠分子泵和前級(jí)泵來排氣。隨著腔體溫度的升高，腔體內(nèi)表面吸附的水蒸氣等氣體分子大量放出，真空度會(huì)迅速惡化。氣體的放出量隨著烘烤時(shí)間的延長而逐漸減少，因此真空度也逐步好轉(zhuǎn)。停止烘烤時(shí)，真空腔體廠家，切斷加熱帶和離子泵的烘烤電源，然后趁腔體仍處在高溫的狀態(tài)下對(duì)鈦升華泵進(jìn)行除氣處理。鈦升華泵的除氣處理是指給ti絲通電加熱，但又控制溫度在ti升華溫度之下的操作。鈦升華泵除氣處理的目的是清除吸附在ti絲表面的氣體分子以及其他可能的污染物，以確保鈦升華泵的正常工作。充分完成鈦升華泵的除氣處理之后，啟動(dòng)離子泵和鈦升華泵，加大真空排氣的力度。隨著排氣力度的*和由于腔體溫度降低而放出氣體的減少，系統(tǒng)的真空度會(huì)迅速好轉(zhuǎn)。
新完成的腔體一次烘烤時(shí)，一般需要一周時(shí)間，重復(fù)烘烤后單獨(dú)的烘烤時(shí)間可以適當(dāng)減少。為了地測(cè)量真空度，停止烘烤后也應(yīng)該對(duì)真空計(jì)進(jìn)行除氣處理。如果真空泵能力充分而且烘烤時(shí)間充足的話，烘烤后真空度可提升幾個(gè)數(shù)量級(jí)。
真空腔體介紹
真空腔體真空是指低于大氣壓力的氣體的給定空間，真空是相對(duì)于大氣壓來說的，并非空間沒有物質(zhì)存在.
真空是物理學(xué)里面的一個(gè)概念，開始反映的是空無一物的狀態(tài).即真空并不是無物而是有實(shí)物粒子和虛粒子轉(zhuǎn)化的，但整體對(duì)外是不顯示物理屬性的宏觀總體.真空就像是一個(gè)能量海，不斷振蕩并且充滿著巨大能量.
真空的屬性確實(shí)是需要用空間來描述，真空腔體，但只是種數(shù)學(xué)表示，是為了方便研究才引入的參量，并不是說真空的性質(zhì)取決于空間.
真空腔體是建立在低于大氣壓力的環(huán)境下，以及在此環(huán)境中進(jìn)行工藝制作、科學(xué)試驗(yàn)和物理測(cè)量等所需要的技術(shù).
用現(xiàn)代抽氣方法獲得的很低壓力，每立方厘米的空間里仍然會(huì)有數(shù)百個(gè)分子存在.
氣體稀薄程度是對(duì)真空的一種客觀量度，直接的物理量度是單位體積中的氣體分子數(shù).氣體分子密度越小，氣體壓力越低，真空就越高.真空常用帕斯卡或托爾做為壓力的單位.
真空腔體中抽氣管道的設(shè)計(jì)原則
工藝室的抽氣速率將低于泵入口的抽氣速率，相差多少取決于抽氣管道的屬性(例如長度和尺寸)。盡量降低工藝室和泵入口之間的壓力差就可以使抽氣速率損失減到少。
顯然，抽氣管道的屬性對(duì)于性能十分關(guān)鍵。此時(shí)還需要考慮其它因素：流導(dǎo)。
我們采用流導(dǎo)(阻力的倒數(shù))這一術(shù)語來定義“管道傳遞流動(dòng)的能力”。流導(dǎo)的計(jì)量單位是每單位時(shí)間的體積并且和抽氣速率的單位相同。工藝室抽氣速率(s)可用抽氣管道流導(dǎo)(c)和應(yīng)用泵速(sp)計(jì)算，如下所示：
s = (sp*c)/(sp c)
當(dāng)c遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于sp時(shí)，則s近似為sp；當(dāng)sp遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于c時(shí)，真空腔體哪家好，則s近似為c。真空腔體
工藝室的抽氣速率始終低于應(yīng)用泵速而且低于抽氣管道中部件的小流導(dǎo)(通常為小直徑)。
在某種程度上管道短而粗是好的
采用短的大直徑抽氣管道盡量提高管道流導(dǎo)是不錯(cuò)的做法，但只限于當(dāng)抽氣速度s接近泵速(sp)*值的情況。
除此之外，通過增加管道直徑(成本也會(huì)相應(yīng)增加)來增加流導(dǎo)并不能顯著提高工藝室抽氣速率；換而言之，如果抽氣管道流導(dǎo)受限并且由于物理因素不能增加，當(dāng)(s)接近管道流導(dǎo)(c)*值，一味通過增加應(yīng)用泵速來提高工藝抽氣速度也是不經(jīng)濟(jì)的。
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