賽儀歐電子S530低電流參數(shù)測試系統(tǒng)

吉時(shí)利s530半導(dǎo)體參數(shù)參數(shù)系統(tǒng)是為處理工藝控制監(jiān)測，工藝可靠性監(jiān)測和器件特性測量中要求的dc和c-v測量而設(shè)計(jì)的。這些參數(shù)參數(shù)系統(tǒng)用于各種器件及工藝的量產(chǎn)環(huán)境和實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。對特殊應(yīng)用，s500集成參數(shù)系統(tǒng)提供了半定制配置功能。
s530參數(shù)測試系統(tǒng)功能
靈活的探測器接口選項(xiàng)，包括測試頭，支持原有吉時(shí)利和 keysight 裝置 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 kte 軟件環(huán)境 觸摸一次探頭即可完成高壓和低壓參數(shù)的測試 通過全新系統(tǒng)參考單元 (sru) 進(jìn)行全自動(dòng)系統(tǒng)級(jí)校準(zhǔn)符合新質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn) kte 7 中的運(yùn)行狀況檢查軟件工具大限度地延長系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間和提高數(shù)據(jù)完整性 內(nèi)置的瞬態(tài)過電壓和/或過電流事件保護(hù)可大程度地減少代價(jià)高昂的系統(tǒng)停機(jī)或?qū)斐蓳p壞 符合 iso-17025 校準(zhǔn)要求并支持 iatf-16949 合規(guī)性 提供 secs/gem 與 300 毫米晶圓廠的集成 s530低電流參數(shù)測試系統(tǒng)
線序和針數(shù)：高達(dá)60針；
smu通道數(shù)：2-8條；
電壓：200v;
電流：1a
s530高壓參數(shù)測試系統(tǒng)
smu通道數(shù)：2-8條；
電壓：1100v;
電流：1a
s530參數(shù)測試系統(tǒng)亮點(diǎn)：
高達(dá)1mhz的c-v測量功能；
兼容全自動(dòng)探針裝置；
20w smus提供高達(dá)1a或200v;
1kv smu到任何系統(tǒng)引腳（s530高電壓）；
pa電流測量功能（s530低電流）；
多達(dá)60針kelvin(s530高電壓或s530低電流)