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光刻掩膜版(又稱光罩,英文為mask reticle),簡稱掩膜版,是微納加工技術(shù)常用的光刻工藝所使用的圖形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結(jié)構(gòu),再通過圖形信息轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品基片上。
待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、鉻層和光刻膠層構(gòu)成。其圖形結(jié)構(gòu)可通過制版工藝加工獲得,常用加工設(shè)備為直寫式光刻設(shè)備,如激光直寫光刻機(jī)、電子束光刻機(jī)等。
掩膜版應(yīng)用十分廣泛,在涉及光刻工藝的領(lǐng)域都需要使用掩膜版,如ic(integrated circuit,集成電路)、fpd(flat panel display,平板顯示器)、pcb(printed circuit boards,印刷電路板)、mems(micro electro mechanical systems,微機(jī)電系統(tǒng))等。
使命:用激光技術(shù),解決客戶問題,助力科學(xué)發(fā)展
愿景:成為掩膜版加工解決方案者
價(jià)值觀:專業(yè) 共贏
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