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熱壓法:ito靶材的熱壓制作過程是在石墨或氧化鋁制的模具內(nèi)充填入適當(dāng)粉末以后,以 100kgf/cm 2~1000kgf/cm 2的壓力單軸向加壓,同時(shí)以1000℃~1600℃進(jìn)行燒結(jié)。熱壓工藝制作過程所需的成型壓力較小,燒結(jié)溫度較*結(jié)時(shí)間較短。但熱壓法生產(chǎn)的ito靶材由于缺氧率高,氧含量分布不均勻,青海尾氣收受系統(tǒng),從而影響了生產(chǎn)ito薄膜的均勻性,且不能生產(chǎn)大尺寸的靶。
區(qū)域提純后的金屬鍺,其錠底表面上的電阻率為30~50歐姆 厘米時(shí),純度相當(dāng)于8~9,尾氣收受系統(tǒng)報(bào)價(jià),可以滿足電子器件的要求。但對(duì)于雜質(zhì)濃度小于[kg2]10原子/厘米[kg2]的探測器級(jí)超純鍺,則尚須經(jīng)過特殊處理。
由于鍺中有少數(shù)雜質(zhì)如磷、鋁、硅、硼的分配系數(shù)接近于1或大于1,要加強(qiáng)化學(xué)提純方法除去這些雜質(zhì),然后再進(jìn)行區(qū)熔提純。電子級(jí)純的區(qū)熔鍺錠用霍爾效應(yīng)測量雜質(zhì)(載流子)濃度,一般可達(dá)10~10原子/厘米。經(jīng)切頭去尾,再利用多次拉晶和切割尾,一直達(dá)到所要求的純度(10原子/厘米),這樣純度的鍺(相當(dāng)于13)所作的探測器,尾氣收受系統(tǒng)誰家好,其分辨率已接近于理論數(shù)值。
鎢-鈦靶材作為光伏電池鍍膜材料是近發(fā)展起來的,它作為第三代太陽能電池的阻擋層是佳選擇。
由于 w-ti 系列薄膜具有非常優(yōu)良的性能,尾氣收受系統(tǒng)工藝,近幾年來應(yīng)用量急劇增加,2008年w-ti 靶材世界用量已達(dá)到400t,隨著光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,這種靶材的需求量會(huì)越來越大。具行業(yè)預(yù)測其用量還會(huì)有很大的增加。國際太陽能電池市場以100%的速度增長,目前世界有30 多公司參與太陽能市場的進(jìn)一步開發(fā), 并已有的公司產(chǎn)品投入市場。
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