100級(jí)無(wú)塵烤箱CM-100T_晶圓PI膠固化

100級(jí)無(wú)塵烤箱cm-100t_晶圓pi膠固化
100級(jí)無(wú)塵烤箱cm-100t概述：
晶圓pi膠固化烤箱cm-100t是參照 federal standard(fs)209e 無(wú)塵等級(jí)規(guī)格研發(fā)制造，廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示屏、lcd、cmos、ic、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。采用平面水平送風(fēng)，然后經(jīng)過(guò)進(jìn)口hepa filter裝置 (特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))送風(fēng)，過(guò)濾效率可達(dá)99.99%，滿足class 100級(jí)無(wú)塵規(guī)格，排氣口為3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門功能),以達(dá)到強(qiáng)烈循環(huán)的效果。
100級(jí)無(wú)塵烤箱cm-100t箱體結(jié)構(gòu)：
·烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱器及風(fēng)道系統(tǒng)部分組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外型美觀大方
·全周弧焊，耐高溫硅膠迫緊，sus304＃不銹鋼電加熱器，防止機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵
·箱體材料：sus304#不銹鋼板
·內(nèi)膽材料：采用進(jìn)口sus304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，
·并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污以避免烘烤時(shí)產(chǎn)生微塵
·中桶材料：采用進(jìn)口sus304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，
·并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及弧焊密封加工(防污染)
·保溫材料：采用正廠玻璃纖維公司出品，100k級(jí)高密度高保溫板制造
·電熱器：采用進(jìn)口覆套式電加熱器 (sheathed heater)，為無(wú)塵化電熱發(fā)生器
·潔凈度：烤箱內(nèi)部均采用無(wú)塵化配件及材料
cm-100t（100級(jí)無(wú)塵烤箱）規(guī)格：
無(wú)塵等級(jí) class 100
溫度范圍 室溫～+250℃
升溫速度 常溫～+200℃, 升溫斜率程序可控
溫度均勻度 &plu*n;1%；（空載）
溫度度 &plu*n;1℃；（空載）
工作室尺寸 w600×h550×d500 mm
外形尺寸 w1100×h1700×d1220 mm
加熱功率 14kw
層板 共2片
環(huán)境條件 溫度 5～40℃；濕度 ≤85%r.h
電源 ac380v , 三相，50hz
氣壓 86～106kpa
使用條件 無(wú)強(qiáng)烈振動(dòng)，無(wú)強(qiáng)磁場(chǎng)影響，無(wú)腐蝕性氣體
箱體周圍應(yīng)留有500mm的空間供設(shè)備安裝、維修使用
了解更多：http://www.hapoinoven/cm-100t.htm
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