晶圓減薄_半自動(dòng)貼膜機(jī)STK-6150

晶圓減薄_半自動(dòng)貼膜機(jī)stk-6150
半自動(dòng)晶圓減薄貼膜機(jī)stk-6150特點(diǎn)：
8”-12”晶圓適用；
專(zhuān)利設(shè)計(jì)的滾輪貼膜；
自動(dòng)膠膜進(jìn)給及貼膜；
手動(dòng)晶圓上下料；
自動(dòng)切割膠膜，省力；
藍(lán)膜、uv 膠膜可選；
plc+觸摸屏；
配置光簾保護(hù)功能，和緊急停機(jī)按鈕；
三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控；
半自動(dòng)晶圓減薄貼膜機(jī)stk-6150規(guī)格：
晶圓直徑：8”-12”晶圓；
晶圓厚度：100～750微米；
晶圓種類(lèi)：硅,或其它材料；
單平邊,雙平邊,v 型缺口；
膜種類(lèi)：藍(lán)膜或者 uv 膜；
貼膜方法：滾輪貼膜；
晶圓臺(tái)盤(pán)：接觸式晶圓臺(tái)盤(pán)；
晶圓臺(tái)盤(pán)加熱：max可達(dá) 120℃ (對(duì)應(yīng)接觸式臺(tái)盤(pán)，可 選)；
晶圓放置精度：x-y: +/- 0.5 毫米； θ : +/- 0.5°；
裝卸方式：手動(dòng)晶圓放置與取出；晶圓在位置檢測(cè)；
防靜電控制：去離子風(fēng)扇；
切割系統(tǒng)：自動(dòng)刀；
控制單元：基于 plc 控制，10.4”觸摸屏；
電源電壓：?jiǎn)蜗嘟涣麟?220v,10a；
壓縮空氣：60 psi 清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 2.5 立方英尺；
燈塔：三色燈塔和蜂鳴器，用于操作狀態(tài)監(jiān)測(cè)；
安全：配置安全光簾和緊急停機(jī)開(kāi)關(guān)；
體積：950 毫米(寬)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) ；
凈重：300 公斤；
晶圓貼膜機(jī)性能：
晶圓收益：≥99.9%；
貼膜品質(zhì)：沒(méi)有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）；
cycle time： ≤ 45 秒（不包含上料/下料時(shí) 間）；
mtbf：>168 小時(shí)；
mttr：<1 小時(shí)；
停機(jī)時(shí)間： <3%；
更換產(chǎn)品時(shí)間：≤ 10 分鐘。
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