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氦質(zhì)譜撿漏儀檢漏方法
氦質(zhì)譜檢漏儀,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰*電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。在質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,正壓氦氣檢漏儀品牌,這些氦離子在加速電場作用下進入磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收*而被檢測。
氦質(zhì)譜檢漏儀概述
氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)領(lǐng)域名詞術(shù)語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上,氦氣檢漏儀品牌,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
背壓法氦質(zhì)譜檢漏的優(yōu)缺點
背壓法的優(yōu)點是檢測靈敏度高,正壓氦氣檢漏儀品牌,能實現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測,可以進行批量化檢測。
背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏,正壓氦氣檢漏儀品牌,否則由于密封腔體容積太大,導致加壓時間太長。此外,每個測量漏率都對應兩個等效標準漏率,在細檢完成后還需要采用其它方法進行粗檢,排除大漏的可能。
背壓法的檢漏標準主要有qj3212-2005《氦質(zhì)譜背壓檢漏方法》、gjb360a-1996《電子及電氣元件試驗方法方法112 密封試驗》,主要應用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏。
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